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Vakuumbeschichtung: Verfahren und Anlagen
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Barnes and Noble
Vakuumbeschichtung: Verfahren und Anlagen
Current price: $74.99
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Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).